Pattern quality management chart, pattern quality management method, and pattern formation method

WO2015045510 Art A1 2. April 2015

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015045510
Aktenzeichen: EP14847460
Anmeldetag: 16. Juni 2014
Veröffentlichung: 2. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/288H01L21/28H05K3/00H05K3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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