Mask blank, transfer mask, and method for manufacturing transfer mask

WO2015045801 Art A1 2. April 2015

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015045801
Aktenzeichen: EP14848568
Anmeldetag: 5. September 2014
Veröffentlichung: 2. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/32C23F4/00G03F1/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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