Flow volume control valve and mass flow controller using same

WO2015045987 Art A1 2. April 2015

Anmelder: Hitachi Metals, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015045987
Aktenzeichen: EP14846849
Anmeldetag: 17. September 2014
Veröffentlichung: 2. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: F16K51/00F16K7/16F16K27/02F16K31/02F16K49/00H01L41/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Metals, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Proterial

Japanisches Unternehmen (frühere Firmierung Hitachi Metals), das Spezialstähle, Magnetwerkstoffe und Metallkomponenten für Industrie und Automobilbau herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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