Psf estimation using multiple smaller images

WO2015047538 Art A1 2. April 2015

Anmelder: Nikon Corporation, Tezaur, Radka 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015047538
Aktenzeichen
EP14847339
Anmeldetag
31. Juli 2014
Veröffentlichung
2. April 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G06K9/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nikon Corporation
Tezaur, Radka
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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