Method for cleaning wafer

WO2015049956 Art A1 9. April 2015

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015049956
Aktenzeichen: EP14850412
Anmeldetag: 8. September 2014
Veröffentlichung: 9. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304C07C211/07C07F9/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Organische Chemie

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