Polishing agent composition, polishing agent composition for silicon wafer, and method for manufacturing silicon wafer product
WO2015050260
Art A2
9. April 2015
Anmelder: SUMCO Corporation, AT Silica Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015050260
- Aktenzeichen
- EP14850711
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2014
- Veröffentlichung
- 9. April 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304B24B37/00C09G1/02C09K3/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SUMCO Corporation
AT Silica Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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