Polishing agent composition, polishing agent composition for silicon wafer, and method for manufacturing silicon wafer product

WO2015050260 Art A2 9. April 2015

Anmelder: SUMCO Corporation, AT Silica Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015050260
Aktenzeichen
EP14850711
Anmeldetag
3. Oktober 2014
Veröffentlichung
9. April 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B37/00C09G1/02C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SUMCO Corporation
AT Silica Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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