Monitoring Thin Film Deposition
WO2015051250
Art A1
9. April 2015
Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015051250
- Aktenzeichen
- EP14850649
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2014
- Veröffentlichung
- 9. April 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Inficon, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇩🇪
Inficon
Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.
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