Monitoring Thin Film Deposition

WO2015051250 Art A1 9. April 2015

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015051250
Aktenzeichen
EP14850649
Anmeldetag
3. Oktober 2014
Veröffentlichung
9. April 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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