Sputtering device and maintenance method for sputtering device

WO2015053392 Art A1 16. April 2015

Anmelder: Nitto Denko Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015053392
Aktenzeichen: EP14852001
Anmeldetag: 10. Oktober 2014
Veröffentlichung: 16. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nitto Denko Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nitto Denko

Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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