Method of cleaning an extraction electrode assembly using pulsed biasing

WO2015054494 Art A1 16. April 2015

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015054494
Aktenzeichen: EP14851849
Anmeldetag: 9. Oktober 2014
Veröffentlichung: 16. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/265H01J37/317H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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