Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Partikeln in einem Atmosphärendruckplasma

WO2015055711 Art A1 23. April 2015

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015055711
Aktenzeichen: EP14786165
Anmeldetag: 15. Oktober 2014
Veröffentlichung: 23. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/22C23C14/32H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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