Method for forming fine pattern of polyimide by imprinting

WO2015056487 Art A1 23. April 2015

Anmelder: National Institute Of Advanced Industrial Science 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015056487
Aktenzeichen: EP14853597
Anmeldetag: 29. August 2014
Veröffentlichung: 23. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: B29C59/02H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute Of Advanced Industrial Science
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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