Pellicle, photomask with pellicle, and method for manufacturing semiconductor element

WO2015056653 Art A1 23. April 2015

Anmelder: Asahi Kasei Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015056653
Aktenzeichen: EP14853845
Anmeldetag: 10. Oktober 2014
Veröffentlichung: 23. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62C08L33/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Kasei Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Asahi Kasei

Asahi Kasei ist ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Tokio, der in den Bereichen Chemie und Kunststoffe, Wohnungsbau sowie Medizintechnik tätig ist. Das 1922 gegründete Unternehmen zählt zu den größten Chemiekonzernen Japans.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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