Sputtering High Throughput Aluminum Film

WO2015057051 Art A1 23. April 2015

Anmelder: Mimos, Berhad 🇲🇾

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015057051
Aktenzeichen
EP14777894
Anmeldetag
27. Mai 2014
Veröffentlichung
23. April 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/16C23C14/34C23C14/54H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mimos, Berhad
Land
🇲🇾 Malaysia
🇲🇾 Mimos Berhad

Malaysisches staatliches Forschungsinstitut für Informations- und Kommunikationstechnologie mit Sitz in Kuala Lumpur. Die Patente decken Halbleitertechnik, Mikroelektronik und IT-Sicherheit ab.

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