Sputtering High Throughput Aluminum Film
WO2015057051
Art A1
23. April 2015
Anmelder: Mimos, Berhad 🇲🇾
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015057051
- Aktenzeichen
- EP14777894
- Anmeldetag
- 27. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 23. April 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/16C23C14/34C23C14/54H01L21/285
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mimos, Berhad
- Land
- 🇲🇾 Malaysia
🇲🇾
Mimos Berhad
Malaysisches staatliches Forschungsinstitut für Informations- und Kommunikationstechnologie mit Sitz in Kuala Lumpur. Die Patente decken Halbleitertechnik, Mikroelektronik und IT-Sicherheit ab.
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