Bias-Variant Photomultiiplier Tube

WO2015058199 Art A1 23. April 2015

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015058199
Aktenzeichen
EP14854558
Anmeldetag
20. Oktober 2014
Veröffentlichung
23. April 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01J43/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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