Abnormality detection device, abnormality detection method, and computer-readable storage medium

WO2015060273 Art A1 30. April 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015060273
Aktenzeichen: EP14856434
Anmeldetag: 21. Oktober 2014
Veröffentlichung: 30. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01H17/00G01H3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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