Complex and asymmetric composite thin film and method for preparing same using atomic layer deposition

WO2015060636 Art A1 30. April 2015

Anmelder: Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015060636
Aktenzeichen
EP14855224
Anmeldetag
22. Oktober 2014
Veröffentlichung
30. April 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/448C23C16/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Research Institute of Chemical Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Research Institute of Chemical Technology

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.

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