Improved light collection optics for measuring flux and spectrum from light-emitting devices
WO2015066395
Art A1
7. Mai 2015
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015066395
- Aktenzeichen
- EP14858700
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2014
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01J3/28G01R31/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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