A modular reticle pod system
WO2015066484
Art A1
7. Mai 2015
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015066484
- Aktenzeichen
- EP14858738
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2014
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L23/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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