Spatially Resolved Emission Spectrospy in Plasma Processing

WO2015066547 Art A1 7. Mai 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015066547
Aktenzeichen: EP14858146
Anmeldetag: 31. Oktober 2014
Veröffentlichung: 7. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01J5/48G01N21/27H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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