Belichtungsanlage

WO2015067798 Art A1 14. Mai 2015

Anmelder: KLEO Halbleitertechnik GmbH, Carl Zeiss AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015067798
Aktenzeichen: EP14801961
Anmeldetag: 10. November 2014
Veröffentlichung: 14. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KLEO Halbleitertechnik GmbH
Carl Zeiss AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss

Carl Zeiss ist ein deutscher Hersteller von optischen und optoelektronischen Systemen mit Sitz in Oberkochen. Das Patentportfolio konzentriert sich klar auf Optik und Fototechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Medizintechnik und Software für bildgebende Anwendungen. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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