Method for using post-processing methods for accelerating euv lithography

WO2015069658 Art A1 14. Mai 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015069658
Aktenzeichen: EP14859863
Anmeldetag: 4. November 2014
Veröffentlichung: 14. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: A47G19/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter

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