Multi-cell resonator microwave surface-wave plasma apparatus

WO2015069905 Art A1 14. Mai 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015069905
Aktenzeichen: EP14859957
Anmeldetag: 6. November 2014
Veröffentlichung: 14. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/268H05H1/24H05H1/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von