Method and hardware for enhanced removal of post etch polymer and hardmask removal

WO2015070168 Art A1 14. Mai 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015070168
Aktenzeichen: EP14859374
Anmeldetag: 10. November 2014
Veröffentlichung: 14. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/08C23G5/032C25F3/30H01L21/365

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von