Substrate floating apparatus, substrate transfer apparatus, and substrate transport apparatus

WO2015072065 Art A1 21. Mai 2015

Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015072065
Aktenzeichen: EP14862116
Anmeldetag: 6. Oktober 2014
Veröffentlichung: 21. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: B65G49/06H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Murata Machinery, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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