Spatial light modulation element module, photoimaging device, exposure device, spatial light modulation element module manufacturing method, and device manufacturing method

WO2015072478 Art A1 21. Mai 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015072478
Aktenzeichen: EP14862018
Anmeldetag: 12. November 2014
Veröffentlichung: 21. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08B81B7/02B81C1/00G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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