Information processing apparatus, information processing method, and information processing system

WO2015072526 Art A1 21. Mai 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015072526
Aktenzeichen: EP14861675
Anmeldetag: 13. November 2014
Veröffentlichung: 21. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H04Q9/00G05B19/05H04M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von