Group 5 transition metal-containing compounds for vapor deposition of group 5 transition metal-containing films

WO2015072589 Art A1 21. Mai 2015

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015072589
Aktenzeichen: EP13897268
Anmeldetag: 13. November 2013
Veröffentlichung: 21. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/06C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von