Metrology imaging targets having reflection-symmetric pairs of reflection-asymmetric structures

WO2015073127 Art A1 21. Mai 2015

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015073127
Aktenzeichen
EP14862798
Anmeldetag
29. September 2014
Veröffentlichung
21. Mai 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/00H01L21/66G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

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