Method for producing silicon single crystal

WO2015075864 Art A1 28. Mai 2015

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015075864
Aktenzeichen
EP14863511
Anmeldetag
16. Oktober 2014
Veröffentlichung
28. Mai 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/04C30B30/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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