Workpiece cutting method

WO2015075869 Art A1 28. Mai 2015

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015075869
Aktenzeichen
EP14864830
Anmeldetag
27. Oktober 2014
Veröffentlichung
28. Mai 2015
Rechtsraum
WO
IPC
B24B27/06B28D5/04H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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