Processing room having compact rotating arm, and compact manufacturing device

WO2015076405 Art A1 28. Mai 2015

Anmelder: Litho Tech Japan Corporation, National Institute Of Advanced Industrial Science, Pulsa Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015076405
Aktenzeichen: EP14863630
Anmeldetag: 25. November 2014
Veröffentlichung: 28. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Litho Tech Japan Corporation
National Institute Of Advanced Industrial Science
Pulsa Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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