Method for measuring transverse beam intensity distribution

WO2015077400 Art A1 28. Mai 2015

Anmelder: Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015077400
Aktenzeichen: EP14864069
Anmeldetag: 20. November 2014
Veröffentlichung: 28. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01T1/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Axcelis Technologies Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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