Multi-actuator design and control for a high-speed/large-range nanopositioning system

WO2015077440 Art A1 28. Mai 2015

Anmelder: Massachusetts Institute Of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015077440
Aktenzeichen: EP14825205
Anmeldetag: 20. November 2014
Veröffentlichung: 28. Mai 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q10/06G01Q30/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute Of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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