Epitaxial silicon wafer and epitaxial silicon wafer manufacturing method

WO2015079777 Art A1 4. Juni 2015

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015079777
Aktenzeichen: EP14865621
Anmeldetag: 12. September 2014
Veröffentlichung: 4. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/24C30B25/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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