Spatial light modulator, optical drawing apparatus, exposure apparatus, and method for manufacturing device

WO2015080057 Art A1 4. Juni 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015080057
Aktenzeichen: EP14866422
Anmeldetag: 21. November 2014
Veröffentlichung: 4. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G02B7/198G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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