Chemical liquid supply mechanism and small-sized manufacturing device

WO2015080081 Art A1 4. Juni 2015

Anmelder: Litho Tech Japan Corporation, National Institute Of Advanced Industrial Science, Pulsa Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015080081
Aktenzeichen: EP14865026
Anmeldetag: 25. November 2014
Veröffentlichung: 4. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B05C5/00B05C9/14B05C11/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Litho Tech Japan Corporation
National Institute Of Advanced Industrial Science
Pulsa Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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