Pick-and-place head and method for picking workpieces
WO2015080857
Art A1
4. Juni 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015080857
- Aktenzeichen
- EP14866693
- Anmeldetag
- 10. November 2014
- Veröffentlichung
- 4. Juni 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B65G47/91B25J15/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
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