Dopant precursors for mono-layer doping
WO2015080985
Art A1
4. Juni 2015
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015080985
- Aktenzeichen
- EP14865568
- Anmeldetag
- 22. November 2014
- Veröffentlichung
- 4. Juni 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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