System and method for forming a sealed chamber
WO2015081072
Art A1
4. Juni 2015
Anmelder: Applied Materials Israel, Ltd., Applied Materials, Inc. 🇮🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015081072
- Aktenzeichen
- EP14865423
- Anmeldetag
- 25. November 2014
- Veröffentlichung
- 4. Juni 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/02H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials Israel, Ltd.
Applied Materials, Inc. - Land
- 🇮🇱 Israel
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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