Chamfering device and notchless wafer manufacturing method

WO2015083319 Art A1 11. Juni 2015

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015083319
Aktenzeichen
EP14867652
Anmeldetag
29. Oktober 2014
Veröffentlichung
11. Juni 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B9/00B24B49/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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