Pressure-type flow rate control device

WO2015083343 Art A1 11. Juni 2015

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015083343
Aktenzeichen: EP14867239
Anmeldetag: 25. November 2014
Veröffentlichung: 11. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06F16K27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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