Scanning electron microscope system, pattern measurement method using same, and scanning electron microscope

WO2015083548 Art A1 11. Juni 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015083548
Aktenzeichen: EP14868670
Anmeldetag: 19. November 2014
Veröffentlichung: 11. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28H01J37/22H01J37/244H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von