Prüfvorrichtung für Euv-Optik

WO2015086649 Art A2 18. Juni 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015086649
Aktenzeichen: EP14809647
Anmeldetag: 10. Dezember 2014
Veröffentlichung: 18. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G21K1/06G03F7/20G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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