Ion source with electron cyclotron resonance

WO2015086852 Art A1 18. Juni 2015

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015086852
Aktenzeichen: EP14812489
Anmeldetag: 15. Dezember 2014
Veröffentlichung: 18. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J27/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Centre National de la Recherche Scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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