Film deposition preparation method for inline type film deposition device, inline type film deposition device, and carrier

WO2015087505 Art A1 18. Juni 2015

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015087505
Aktenzeichen: EP14870198
Anmeldetag: 26. November 2014
Veröffentlichung: 18. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54C23C14/24C23C14/56H01L51/50H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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