Pattern formation method, and method for producing electronic device

WO2015087689 Art A1 18. Juni 2015

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015087689
Aktenzeichen
EP14870054
Anmeldetag
21. November 2014
Veröffentlichung
18. Juni 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/40G03F7/038G03F7/039H01L21/027H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujifilm Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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