Verfahren zur Ermittlung der Phasenverteilung

WO2015091036 Art A1 25. Juni 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015091036
Aktenzeichen: EP14811821
Anmeldetag: 5. Dezember 2014
Veröffentlichung: 25. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G02B21/36G01M11/02G01J9/00G06T5/50

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von