Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Temperatur in einer Prozesskammer eines Cvd-Reaktors unter Verwendung Zweier Temperatursensoreinrichtungen
Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015091371
- Aktenzeichen
- EP14820816
- Anmeldetag
- 15. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01J5/00G01J5/60C23C16/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Aixtron SE
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
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Die Wuppertaler Kanzlei geht auf Johannes Rieder zurück, der schon vor dem ersten deutschen Patentanwaltsgesetz von 1900 als Berater für Erfinder tätig war. Mit über hundertjähriger Kontinuität am Standort zählt sie zu den traditionsreichsten Patentanwaltspraxen im Bergischen Land.