Electron gun device and vacuum deposition device

WO2015092998 Art A1 25. Juni 2015

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015092998
Aktenzeichen: EP14870834
Anmeldetag: 5. Dezember 2014
Veröffentlichung: 25. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/30G21K5/04H01J37/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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