Pellicle film for extreme ultraviolet lithography, including graphite-containing thin film

WO2015093699 Art A1 25. Juni 2015

Anmelder: Research & Business Foundation Sungkyunkwan University, Fine Semitech Corp., Samsung Electronics Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015093699
Aktenzeichen: EP14872157
Anmeldetag: 3. Juni 2014
Veröffentlichung: 25. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G03F1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Research & Business Foundation Sungkyunkwan University
Fine Semitech Corp.
Samsung Electronics Co., Ltd.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Research & Business Foundation Sungkyunkwan University

Die Research & Business Foundation Sungkyunkwan University ist die Technologietransfer- und Patentverwertungsstelle der südkoreanischen Sungkyunkwan-Universität. Das Portfolio streut breit über Medizintechnik, Halbleiter und Nachrichtentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Mess- und Softwaretechnik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2011 bis 2025.

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🇰🇷 Samsung Electronics

Südkoreanischer Elektronikkonzern und Teil der Samsung-Gruppe. Entwickelt und produziert Halbleiter, Speicherchips, Displays, Smartphones, Unterhaltungselektronik sowie Haushaltsgeräte für den globalen Markt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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